Den første er i henhold til strukturen kan opdeles i mekanisk vakuumpumpe og jet vakuumpumpe. Alle mekaniske bevægelser (roterende eller glidende), der bruges i forskellige vakuumudstyr til at ændre pumpens sugebeholdervolumen og vakuumpumpe, kaldes almindeligvis mekaniske vakuumpumper. Den mekaniske volumen-vakuumpumpe ændrer pumpekammerets arbejdsvolumen gennem mekanisk bevægelse for at opnå effekten af den mekaniske volumen-vakuumpumpe. Disse pumper inkluderer frem- og tilbagegående vakuumpumper, roterende mekaniske pumper (inklusive roterende pumper, skruepumper, rodpumper, væskeringspumper osv.). Denne type pumpe bruges ud over den mekaniske pumpe.
For det andet kan den ifølge arbejdsprincippet opdeles i en vakuumpumpe til gaslevering og en vakuumpumpe til gasfanger. En gasleveringspumpe er et mål, der gør det muligt at trække gas kontinuerligt ind og ud for at nå sugevakuumpumpen. Der er to typer vakuumpumper: vakuumpumper med variabelt volumen og momentumoverførselspumper. Gasfangstpumpen er en vakuumpumpe, der adsorberer eller agglomererer gasmolekyler på pumpens indre overflade, hvorved mængden af gasmolekyler reduceres i beholderen og opnår formålet med sugning. Stempelvakuumpumper, vakuumpumper med roterende vinge, vakuumpumper, vakuumpumper til skruer, vakuumpumper, diffusionspumpeinjektionspumper og flere andre typiske typer.
